爱德华真空泵平板显示器行业的使用

点击次数:   更新时间:19/06/28 11:44:06     来源:www.xiangsaizkzl.com关闭分    享:

  爱德华真空泵的使用对一些特定行业而言是非常重要的一款使用产品,因为它的这种真空形式可以帮助使用者更方便的达到需要的使用条件,而爱德华真空泵在平板显示器行业的使用你了解吗?
  平板显示器制程需要能够支持巨大加工室,并可以在可靠性的情况下输送高气体流速的真空和减排设备。所以就需要使用爱德华真空泵来泵送有毒、自燃和腐蚀性气体,并处理制造制程舱中形成的大量固态制程副产物。

爱德华真空泵


  在FPD领域的经验也能够开发出可解决客户制程问题,并优化生产力的解决方案。应用广泛的干泵和涡轮分子泵经过专门设计,可以很大限度地提高基板吞吐量和零湿度制程条件,同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。在废气管理系统配合使用时,能够管理高气体流量并有效减排有毒和易燃气体,同时延长维修间隔,另外还可以将多个腔连接到一个工具以实现完整的集成真空和减排解决方案。通过引进全新的干泵创新设计,降低了每个腔需要的制程爱德华真空泵数量,同时仍能在低功率输入条件下实现高的生产吞吐量,环保模式可在空闲期间降低资源消耗。
  爱德华真空泵可以在可靠的情况下,输送高气体流速的真空和减排设备,也就为平板显示器行业的生产创造了较大的便利,为生产环境的创建建立了条件。
小编:Anne